空气质量流量计主通道中层流元件产生小压降，这通过旁路（传感器管）驱动与主流成比例小流量，两个连接在测量桥上加热电阻受到不锈钢管影响。 在零流量状态下，桥是平衡，但是随着流量增加，热量沿流动方向传输，桥变得不平衡。测量动态受到作为热障管壁限制。 通过在控制器中使合适软件，可以获得适于响时间（在几秒钟范围内）。对于受污染气体，我们建议在上游安装过滤器元件。 这样可以避免主流量和传感器管子之间分比率变化，以及由传感器管壁上沉积物引起传热变化
气体的流量转换系数理论上取决于该气体在标准状态下的密度和比热, 以及气体的分子构成系数。常用的单组份气体，其转换系数可在厂家产品技术说明书中查得；如果知道该气体的密度和比热, 也可以用下面的基本公式计算出来。
气体质量流量计可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2
实验空气流量质量流量计哪家好 技术参数 量程范围: 5SCCM-500SLM 准 确 度: 流量：±1%F.S 重复精度: ±0.2%F.S 响时间: ≤2S 模 拟 量: DC 0~5V ，4~20mA 可选 供电:DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA 工作温度:0~70℃ 工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa 大耐压:6MPa 电气连接: DB15孔 底座材质: 316L不锈钢 密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
因系统密度低因此需要很高压力以及流速才能够达到，需要注意介质密度影响。设备在计算两种成分溶液和浆料中成分质量含量，需要避免沉淀物附着在测量管壁上，或者是固体颗粒悬浮。对于设备安装方向，两个流向流系数不同，需要按质量流量控制器厂家厂时所给流向来安装，安装方向取决于场合。在力不断变化情况下，设备会现不可接受零点漂移，传感器需由管线系统加以支撑。当雾沫状气体含量超过1%～5%体积含量时停止工作，气泡衰减以产生生科氏力流量管振动，将气体在传感器之前。
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
用户使用质量流量计时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。
这意味着，此种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
用户在订购质量流量计时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。