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一种热式质量流量计的质量流量控制装置
发布日期:2019/11/26 12:36:29
一种热式质量流量计,其特征具有:流体在内部流动的传感器管;上游侧加热元件和下游侧加热元件,它们设置于所述传感器管的外周且由发热电阻丝形成:以及通过点焊电连接了所述发热电阻丝的端部的多个焊接端子,焊接端子由具有与所述发热电阻丝的熔点的温度差不超过100C的熔点的金属或合金形成。
1.焊接端子的表面设置有1层或2层以上的覆盖层。
2.热式质量流量计端部与焊接端子的部分连接,覆盖层至少设置于位于一部分的背侧的部分
3.1或2所述的热式质量流量计,发热电阻丝和所述焊接端子的材料为由相同成分组成的合金。
4.1或2所述的热式质量流量计发热电阻丝由具有5um以上且100um以下的丝直径的Fe-Ni合金丝形成。
5.热式质量流量计焊接端子由Fe-Ni合金形成
6.1~5中任一项所述的热式质量流量计覆盖层中的位于ZUI外侧的覆盖层由u或Au形成。
7.6所述的热式质量流量计覆盖层由两层构成,所述两层为由Ni构成的基底覆盖层和由Au构成的表面覆盖层。
质量流量计控制装置(质量流量控制器)在半导体的制造工艺中为了控制被供给到腔室内的工艺气体的供给量而被广泛地使用。质量流量控制装置由用于监测质量流量的质量流量计、用于控制质量流量的控制阀和控制电路等构成。质量流量计有各种各样的种类,其中,热式质量流量计具有原理上能够准确地测量质量流量的特征。因此,热式质量流量计作为组装到质量流量控制装置中而使用的质量流量计而被广泛普及。
图1是示出热式质量流量计的传感器部的结构的示意图。热式质量流量计的传感器部1由如下构件构成:流体在内部流动的传感器管2:设置于传感器管2的外周的由发热电阻丝形成的上游側加热元件3及下游侧加热元件4:以及通过点焊与发热电阻丝的端部电连接了的多个焊接端子5。通过使电流流经上游侧加热元件3和下游侧加热元件4,在传感器管2的内部流动的流体被加热。流体从上游侧朝向下游侧流动时,与之相伴地,施加到流体上的热也从上游侧朝向下游側移动,因此传感器部1的温度分布发生变化,上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的电阻发生变化。通过测量该电阻的变化,能够检测在传感器管2的内部流动的流体的质量流量。
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